연구분야

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플라즈마 원천기술

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플라즈마 원천기술은 원소재(기체,액체,고체)에 다양한 방식으로 전압‧전류를 인가하여 플라즈마를 잘 만드는 기술입니다. 주로 플라즈마의 특정 기능 구현을 위해 제어해야 할 속성을 규명하고, 목적에 맞는 플라즈마를 발생‧유지하는 기술을 연구합니다.

01 세부연구
고온 플라즈마 폐기물 처리를 위한 발생원 기술
심각한 사회 문제인 폐기물을 가장 깨끗하게 처리할 수 있는 플라즈마 발생원 기술과 환경에 유해한 물질을 배출하지 않고서 재자원화할 수 있는 기술 연구
02 세부연구
대면적 다이아몬드 합성을 위한 플라즈마 발생원 기술 개발
궁극의 전력반도체 소자로 사용될 다이아몬드 기판 합성을 위한 마이크로웨이브 플라즈마 합성장치와 면적의 제한이 없는 새로운 발생원 개발
03 세부연구
선형 ECR 플라즈마 발생원 기술
에너지 저장장치용 전극이나, 대면적 디스플레이 공정에 적용 가능한 높은 품질의 박막을 생성할 수 있는 ECR(Electron Cyclotron Resonance) 플라즈마 발생원 대형화 기술 개발
04 세부연구
플라즈마 분체 처리를 위한 플라즈마 발생원 기술
다량의 분말을 처리할 수 있는 마이크로웨이브 플라즈마 발생원 및 유전체 장벽 방전(DBD) 발생원 기술 개발
05 세부연구
고효율 플라즈마 발생원 개발
환경분야 적용을 위해 대면적 처리를 가능하게 하기 위한 새로운 플라즈마 발생원 기술 개발
06 세부연구
플라즈마 기반 바이오 소재 처리 기술
고부가가치 식의약 관련 소재 발굴을 위한 플라즈마를 이용한 바이오 소재 처리 기술