연구분야

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플라즈마 기반기술

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연구분야 01 플라즈마 기반기술

플라즈마 기반기술은 나무뿌리처럼 겉으로는 드러나지 않지만, 플라즈마 원천 및 융복합기술에 내재되어 플라즈마 기술 경쟁력의 근간을 형성하는 기술입니다. 주로 원소재(기체,액체,고체)를 구성하는 원자 및 분자 특성부터 플라즈마의 발생 특성에 이르기까지 플라즈마와 물질과의 반응을 측정/분석/해석/예측을 통해 다양한 플라즈마가 발생하는 원리를 규명하고 플라즈마의 효과 등을 연구합니다.

세부 연구 주제

01 세부연구
원자·분자·광학 물성 연구
물질이 플라즈마 상태로 변화되는 과정을 이해하기 위한 원자 및 분자의 물리화학적 특성 및 물리화학 반응 연구
02 세부연구
플라즈마 - 물질 반응 연구
플라즈마 - 물질 간 상호작용을 통해 획득되는 무기물 표면 개질, 화학반응 유도, 미생물 살균 및 활성 등의 현상을 이해하기 위한 연구
03 세부연구
플라즈마 모델링 및 시뮬레이션 연구
플라즈마 장치 및 공정을 해석하기 위해 전산 모사를 통해 구현하고 장치에 따라 생성되는 플라즈마를 해석 및 예측하는 연구
04 세부연구
플라즈마 상태 물성 진단 및 분석 기술 개발
플라즈마 발생 장치 내부에 플라즈마 관측 및 공정 진행 동안 내부의 변화를 측정 및 분석하는 기술
05 세부연구
플라즈마 공정 장비 지능화 기술 개발
반도체 플라즈마 공정 장비로부터 공정 상태 정보를 담은 빅데이터를 실시간 수집·분석하여 스스로 상태를 진단하고 변화를 인지·판단하여 능동적으로 공정 상태를 제어하는 기술 개발
- NST 융합연구단사업 선정 및 총괄주관연구 수행
유형(연구단명)미래선도형(Plasma E. I. 융합연구단)

과제명반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증

총 연구기간2020.11.01. ~ 2026.10.31.(6년)

총 연구비439.6억원