연구성과
연구성과
2020년플라즈마기술연구소 초정밀 연마용 플라즈마 발생원 개발
| 연구성과 | 초정밀 연마용 플라즈마 발생원 개발 | |
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| 연구개요 | 인공위성 광학 부품 소재인 실리콘카바이드(SiC)를 기계가공에 의한 하부층 손상이 발생하지 않게 플라즈마를 이용하여 원자층 수준까지 초정밀 연마할 수 있는 플라즈마 발생원 기술 개발 | |
| 연구내용 | 대기압 플라즈마를 이용한 SiC 식각 원리를 규명하고, 최적화된 대기압 플라즈마 발생원을 고안하여, SiC 소재에 기계적인 손상 없이 보정가공을 할 수 있게 함. 진공플라즈마를 이용하여 SiC를 고진공 환경에서 원자층 수준으로 식각을 할 수 있는 기술을 처음으로 개발하고, 이를 이용하여 초정밀 보정 가공을 할 수 있게 하였음. |
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| 주요성과 | 과학적 가치 SiC에 대한 원자층 연마 연구를 처음으로 수행하여 논문(Thin Solid Film, 707)으로 발표. 대기압 플라즈마를 활용하여 SiC를 손상없이 안정적으로 식각 할 수게 함. (Plasma Sci. & Tch. 21) 기술적 가치 우주광학 부품으로 널리 사용되는 SiC 초정밀 연마용 플라즈마 발생원 원천기술을 개발하여, 다가올 우주산업시대에 꼭 필요한 SiC 초정밀 연마기 개발을 가능케 함. 사회적 가치 선진국에서 독점하고 있는 초정밀 연마기술 분야에서 SiC에 대한 플라즈마 연마를 국내에서 최초로 개발하여, 향후 우주산업 시대의 미래 먹거리 기반을 마련함. |
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| 기대효과 | 인공위성용 SiC 거울 보정 가공, X-ray 거울 초정밀 연마 적용으로 국내 초정밀 가공 산업 육성 기여 | |
| 관련이미지 |  상용화 장치 (Pilot System) 초정밀 연마 공정 최적화 (연마후 Ra < 0.2nm) 초정밀 연마를 위한 고진공 플라즈마 이온/라디칼 빔 발생 장치 개발 |
 초정밀 가공용 플라즈마 소스, OLED 산업 고진공 정전기 제거 활용 요청(S사)으로 기술이전 진행 (20년 8월 3일 계약, 선급기술료 1.74억원, 경상기술료 매출 2%) |
담당부서
연구관리팀
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