연구성과
연구성과
2020년플라즈마기술연구소 플라즈마 물성 데이터 연구
| 연구성과 | 플라즈마 물성 데이터 연구 | |
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| 연구개요 | 플라즈마 기반 기술인 플라즈마 데이터를 연구하여, 산업 전반에 걸쳐 널리 사용되는 플라즈마 공정 가스의 친환경 대체 가스 개발 지원 | |
| 연구내용 | 양자화학기법, R-Matrix 계산법 등을 활용한 고신뢰성 플라즈마 공정용 가스의 기초 물성 및 반응 물성 데이터 개발 실험적 방법을 활용한 고신뢰성 플라즈마 공정용 가스의 반응 물성 데이터 개발 → 국내 유일 전자-가스 분자 충돌 산란 단면적 측정 장치 완성 평가를 통한 고신뢰성 플라즈마 물성 참조표준 개발 체계적 관리를 위한 플라즈마물성데이터관리 시스템 개발 |
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| 주요성과 | 과학적 가치 국내 유일 플라즈마물성데이터센터*로서 지구온난화지수(GWP)가 높은 반도체 공정용 가스 저감을 위해, 현 공정 가스의 물리·화학적 특성 연구에 필요한 기초 및 반응 물성 데이터 개발 기술적 가치 산업공정에서 사용되는 고탄소 배출 가스들의 친환경 대체가스 및 플라즈마 공정 개발에 활용 ※ 플라즈마 공정 가스의 친환경 대체 가스 개발을 위해서는 전자 충돌에 의한 반응 물성을 통한 방전 예측이 중요 경제적 가치 연구 기반을 통해 확보된 플라즈마-소재(특수 가스, 대면 소재)의 플라즈마 데이터*는 데이터 분석을 통해 장치 및 공정 최적화가 가능하여 해외에 의존하던 핵심 공정 소재의 국산화 개발 기간 단축을 통한 비용 절감 ※ 플라즈마 빅데이터는 플라즈마 - 물질 반응 물성, 반응 장치의 설비, 센서 데이터, 플라즈마 상태 물성등을 포함하며 이는 플라즈마 공정을 이해하는데 필수 요소 사회적 가치 사회적 가치 지구온난화지수(GWP)가 높은 반도체 공정용 가스 저감을 위해, 현 공정 가스의 물리·화학적 특성 연구에 필요한 기초 및 반응 물성 데이터 개발을 통한 국가 현안(온실 가스 감축) 해결 지원 인프라 가치 고신뢰성 플라즈마 물성 데이터를 보다 체계적 · 통합적으로제공하는 데이터 플랫폼 구축을 위해 플라즈마물성정보시스템 기반 마련 추진 (구축 현황:플라즈마 반응 물성: 101,601건, 기초 물성: 775건, 플라즈마 상태 물성: 349,800건) |
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| 기대효과 | 산업체 수요가 매우 높음에도 불구하고, 세계적으로 제공되지 않는 플라즈마 공정용 물성데이터 연구를 통해 선제적으로 확보하여 산업체 활용 | |
| 관련이미지 |  전자 충돌 반응 물성 데이터를 참조표준으로 등록 완료 (70여종, 900여건) 및 관련 논문 9편 |
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담당부서
연구관리팀
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