연구분야
![2명의 연구원이 실험실에서 실험을 하고 있는 사진](/kor/images/sub/a10204020100_01.jpg)
연구분야 01 플라즈마 기반기술
플라즈마 기반기술은 나무뿌리처럼 겉으로는 드러나지 않지만, 플라즈마 원천 및 융복합기술에 내재되어 플라즈마 기술 경쟁력의 근간을 형성하는 기술입니다. 주로 원소재(기체,액체,고체)를 구성하는 원자 및 분자 특성부터 플라즈마의 발생 특성에 이르기까지 플라즈마와 물질과의 반응을 측정/분석/해석/예측을 통해 다양한 플라즈마가 발생하는 원리를 규명하고 플라즈마의 효과 등을 연구합니다.
세부 연구 주제
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01
세부연구
원자·분자·광학 물성 연구
물질이 플라즈마 상태로 변화되는 과정을 이해하기 위한 원자 및 분자의 물리화학적 특성 및 물리화학 반응 연구
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02
세부연구
플라즈마 - 물질 반응 연구
플라즈마 - 물질 간 상호작용을 통해 획득되는 무기물 표면 개질, 화학반응 유도, 미생물 살균 및 활성 등의 현상을 이해하기 위한 연구
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03
세부연구
플라즈마 모델링 및 시뮬레이션 연구
플라즈마 장치 및 공정을 해석하기 위해 전산 모사를 통해 구현하고 장치에 따라 생성되는 플라즈마를 해석 및 예측하는 연구
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04
세부연구
플라즈마 상태 물성 진단 및 분석 기술 개발
플라즈마 발생 장치 내부에 플라즈마 관측 및 공정 진행 동안 내부의 변화를 측정 및 분석하는 기술
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05
세부연구
플라즈마 공정 장비 지능화 기술 개발
반도체 플라즈마 공정 장비로부터 공정 상태 정보를 담은 빅데이터를 실시간 수집·분석하여 스스로 상태를 진단하고 변화를 인지·판단하여 능동적으로 공정 상태를 제어하는 기술 개발
- NST 융합연구단사업 선정 및 총괄주관연구 수행
유형(연구단명)미래선도형(Plasma E. I. 융합연구단)
과제명반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증
총 연구기간2020.11.01. ~ 2026.10.31.(6년)
총 연구비439.6억원
연구장비
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