규 격 서 (구매, 제조․제작 요청용)

□ 요청 내역

품명	RF 파워 시스템
모델	아래 기본 구성사양 참조
추정금액 (부가세 포함)	39,600,000 원
기본 구성 사양 (세부 규격)	1. Customizing RF System (13.56MHz) 1 set - RF Generator 1 ea : 13.56MHz/3kW/HN Output - RF match 1 set : 13.56MHz/3kW/B20N/custom matching - RF load simulator with VI Sensor 1 set : Virtual plasma impedance - RF Filter 1 set - RF CABLE with accessories
기타(유의) 사항	○ 하자보증기간: 1년

□  납품 관련 사항

납기 완료 요구일	2023 년 8 월 4 일
납품 장소	플라즈마기술연구소 L101 (전라북도 군산시 오식도동 소재)

□  문의처

물품 관련 사항	jongsik@kfe.re.kr, 063-440-4133

□ 구매 사유 및 활용 용도

플라즈마 발생에 사용할 RF 파워 시스템 구매