연구성과
- 주요 연구성과
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- 주요 연구성과
- 주요 연구성과
- 주요 연구성과
- KSTAR 운영, ITER 조달, 핵융합파생기술개발을 통한 대표 성과
- KSTAR 건설을 통한 대표 성과
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플라즈마기술연구소반도체 공정용 대기환경규제물질 기초/반응 물성데이터 개발
반도체 공정용 대기환경규제물질 기초/반응 물성데이터 개발에 대한 세부과제명, 연구원, 연구내용, 주요성과, 기대효과, 관련이미지입니다. 세부과제명 플라즈마 빅데이터 기반 ICT 융합기술 연구사업(반도체 공정용 대기환경규제 물질 기초/반응 물성데이터 개발) 연구원 책임연구원 송미영 최희철 김대철 김영우, 선임연구원 박준형 김용현, 선임기술원 최영락 기술원 한선민(플라즈마기술연구센터) 연구내용 개발 대상 대기환경규제 대응을 위한 반도체 식각 및 증착용 신규 공정대체가스 데이터 확보 및 표준화 개발 목표 플라즈마 기초물성데이터 확보 플라즈마 반응물성데이터 확보 데이터 활용 인프라 구축 주요 연구개발 내용 연구소가 보유하고 있는 공인된 평가 절차를 활용하여 대기 규제 가스인 NxOy 분자의 전자 충돌에 의한 산란단면적 참조표준 개발(85건) 검증된 이론 방법론을 활용하여 플라즈마 공정 가스(환경 규제 물질)의 기초 및 물성 데이터 개발 (C4F6 이성질체(L-PFC(X) 계열) 8종 국내 유일 총산란 단면적 측정 장치로 N2O 가스의 총산란단면적 측정 기존 보유데이터 고신뢰성 CH4, C2H2, NF3 분자 반응 물성데이터 확보 C4F8 이성질체 기초물성 확보 신규 개발 가스의 총산란 단면적 물성 측정 장비 개발 중 신규 확보 데이터 평가를 통한 고신뢰성 NxOy 분자의 반응 물성 데이터(85건) C4F6 이성질체 (L-PFC(X) 계열) 8종의 기초 물성 데이터(385건) 신규가스 반응 물성(총산란단면적) 측정 장비 개발 완료 및 데이터 생산 개시 신규 가스분자의 해리 물성 측정 장비 개발 중 ‘19년 대표연구성과 Journal of Physical and Chemical Reference Data 저널 편집자가 뽑은 2019년 논문으로 선정(Editor’s pick) 주요성과 과학적 가치 Journal of Physical and Chemical Reference Data 저널 편집자가 뽑은 2019년 논문으로 선정(Editor’s pick, IF: 4.684) * Journal of Physical and Chemical Reference Data “Cross Sections for Electron Collisions with NO, N2O, and NO2”(2019) 플라즈마 연구그룹 간 실험적 난제 해결 * 총산란단면적 측정장치(국내 유일 보유)로 N2O 가스 총산란단면적 측정을 통해 전자 에너지 5~50 eV 사이의 에너지 영역에서의 국외 그룹간 불일치 문제 해소 기술적 가치 신규물질 개발을 위한 기초물성 및 화학반응 데이터 확보 * C4F6 이성질체 8종에 대한 기초물성과 열역학 데이터 282건, 화학반응 특성 데이터 103건에 대한 신뢰성 확보 인프라 가치 개발된 데이터를 체계적으로 관리하여 사용자가 필요시
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플라즈마기술연구소반도체 및 디스플레이 식각장비 내플라즈마 코팅소재(Y₂O₃) 국산화
반도체 및 디스플레이 식각장비 내플라즈마 코팅소재(Y₂O₃) 국산화에 대한 세부과제명, 연구원, 연구내용, 주요성과, 기대효과, 관련이미지입니다. 세부과제명 대덕특구 기술이전 사업화과제(마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 용사분말 유동성 향상기술) 연구원 책임연구원 홍용철 신동훈, 선임연구원 천세민(플라즈마기술연구센터) 연구내용 반도체 및 디스플레이 식각장비 내플라즈마 코팅소재(Y₂O₃) 국산화 개발 대상 : 반도체 식각장비 코팅용 Y₂O₃ 용사코팅 분말 개발 목표 : 분말 입도 15~25 ㎛,분말 유동도 3 g/sec 이상,분말 처리량 20 kg /hr 이상 기존 보유기술 플라즈마 토치 기술, 플라즈마 분말 처리 기술 대상물질 표면 및 개질 처리 기술 신규 개발기술 코팅용 분말 미세화·유동성 향상 기술 개발 코팅용 분말 치밀도 개선 기술 개발 코팅용 분말 플라즈마 양산기술 개발 주요성과 과학적 가치 유동성(흐름성)이 없는 분말에 유동성 부여를 위한 플라즈마 적용과 그에 따른 물리화학적 특성결과 기술적 가치 전량 수입되는 Y₂O₃ 용사분말 국산화 수입분말 대비 특성 우수한 용사분말 개발 및 국산화 경제적 가치 3,000억(반도체)의 국내 용사코팅 시장 중 2,800억 수입의존 탈피 유동성 확보에 따른 59.3%의 공정비용 절감 ※ 28.8kg 용사코팅 시, 국내 1조4000억시장, 해외 100조 사회적 가치 일본 분말 수입 탈피에 따른 간접비용 절감 인프라 가치 국산화 개발에 따른 양산설비 구축 관련 분말 시장의 동반 성장 및 인프라 증가 기대효과 기술적 측면 좁은 입도분포, 작은 입자크기, 유동성이 확보된 국산화 내플라즈마 코팅 소재개발 대기압 플라즈마의 반도체 및 디스플레이 공정의 간접적 활용 경제적 및 사회적 측면 수입에 100% 의존하는 반도체 및 디스플레이 식각장비 내플라즈마 코팅소재의 국산화 및 수출효과 대일본 2차 수출 규제 예상 품목의 탈일본화 및 의존도 탈피효과 관련이미지 플라즈마 적용과 그에 따른 물리화학적 특성결과 플라즈마 용사분말 개질 시스템 개발제품 성능 플라즈마 처리 장치 개발 분말 이용 코팅 결과 비교 수입분말과 개발분말(SW-YT35, 20)의 이미지 및 물성 비교표
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