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2008년~2014년핵융합 파생기술 식각 및 증착 공정용 플라즈마 장비 해석을 위한 시뮬레이터 개발

2013년 (핵융합 파생기술) 식각 및 증착 공정용 플라즈마 장비 해석을 위한 시뮬레이터 개발에대한 기술적 의미 및 연구내용,주요 성과,기대효과,파급효과,관련그림 입니다.
2013 (핵융합 파생기술) 식각 및 증착 공정용 플라즈마 장비 해석을 위한 시뮬레이터 개발
1.기술적 의미 및 연구내용
  • 물리화학적 이론 기반의 반도체 공정용 플라즈마 해석 소프트웨어(S/W) 개발 및 국산화를 통해 공정의 미세화로 직면한 기술적 한계를 극복
    - 고가의 외산 S/W대비 단축된 계산시간, 고 신뢰성의 반도체 공정해석용 S/W의 국산화 성공 및 기술이전을 통한 관련 산업체 활성화에 기여
    ※ 3차원 플라즈마 장비 해석용 시뮬레이터의 상용화에 대한 국내 연구가 전무한 환경에서 산((주)경원테크)·연 협력연구를 통한 국산 플라즈마 공정해석용 S/W(K-Seed) 개발 성공(’13) 이후 S 전자, H사 등에 공급하여 약 14억원(’14)의 지속적 매출 달성
    - 세계 최고 저널인 Physics Reports (IF: 22.929)*로부터 초청받아 논문 게재
    * Physics Reports는 1971년부터 Elsevier에서 출판되어온 물리분야 최고의 학술지로 현재까지 약 20여 명의 한국인만이 1, 2저자로 초청받아 논문을 게재하고 있음
2. 주요 성과 - 고 신뢰성 반도체 공정용 플라즈마 해석 소프트웨어 개발로 국산화에 따른 국내 산업체의 글로벌 경쟁력 강화 기여
- Physics Reports (IF: 22.929) 논문게재
3. 기대효과 및 파급효과 3백억원대 국내 플라즈마 해석 소프트웨어 시장에 대한 국산화 개시 및 3천억대 세계 플라즈마 해석 기술 시장 진입
4.관련그림 식각 및 증착 공정용 플라즈마 장비 해석을 위한 3차원 시뮬레이터 개발 순서입니다. 주요장비설계기술확보, 공정해석기술 확보 후, 차세대 장비/공정 핵심 설계기술 독립을 합니다. 마지막으로 공정용 핵심장비 개발기술 확보를 합니다.
< 식각 및 증착 공정용 플라즈마 장비 해석을 위한 시뮬레이터 >

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