핵융합(연), (주)아바코와 기술이전계약 체결
-고품질 대형 디스플레이 제작 가능한 원천기술 이전-

□ 국가핵융합연구소에서 개발한 ECR 플라즈마1) 기술을 활용하여 고품질 대형 디스플레이를 제작할 수 있는 차세대 디스플레이 증착장치 개발이 추진된다.

1) ECR(Electron Cyclotron Resonance, 전자 사이클로트론 공명) 플라즈마 : 자기장의 수직 방향으로 원운동하는 전자가 그 회전 주파수와 일치하는 주파수의 Microwave와 공명하여 가속하는 방식인 전자 사이클로트론 공명 원리를 이용한 플라즈마 발생 방법.

○ 국가핵융합연구소(이하 핵융합(연), 소장 김기만)는 오는 25일(금) 오전 11시 ㈜아바코(이하 아바코, 대표이사 김광현)와 기술이전협약을 통해 “ECR 플라즈마를 활용한 스퍼터2) 기술”을 이전하고, 차세대 디스플레이 증착장치 개발 및 사업화를 추진한다고 밝혔다.

2) 스퍼터(Sputter) : 플라즈마 내 이온을 가속하여 타켓(Target)에 충돌시켜 타겟의 원자들을 튀어 나오게 하는 것을 의미하며, 이와 같은 원리를 이용하여 반도체, 디스플레이 생산라인의 박막증착 공정에 활용함.

□ “ECR 플라즈마를 활용한 스퍼터1) 기술”은 고밀도의 플라즈마를 활용해 디스플레이에 박막을 증착하는 기술로, 기존 기술보다 대면적 패널에 고품질의 박막을 균일하게 형성할 수 있는 것이 특징이다.

○ 기존 기술과 달리 플라즈마의 발생과 이온 가속을 독립적으로 제어할 수 있어 고에너지 입자에 의한 박막 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 줌으로써 상온에서 고품질 박막 형성이 가능하다.

□ 이러한 특징은 저온에서 고품질 박막(투명전극, 산화막, 질화막 등) 제조가 가능하여 기존 스퍼터 장비의 문제점을 해결할 수 있어 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업 발달에 혁신적인 역할을 할 것으로 기대되고 있다.

○ 스마트폰의 보급과 디스플레이 산업의 발전에 따라 고품질의 박막 증착 기술 수요가 증가하고 있으나, 기존 기술로 이를 해결하기 위해서는 고온공정 및 제작시간 등 다양한 제약사항이 있어 왔다.

□ 다양한 산업에 적용이 가능한 플라즈마 기술을 보유하고 있는 핵융합(연) 플라즈마기술연구센터는 2010년 ㈜아바코에 ‘스퍼터 플라즈마 3차원 시뮬레이션 기술’을 이전하였으며, 2015년에는 스퍼터 장비 및 디스플레이 관련 분야 상호협력 협약을 체결한 바 있다.

○ ㈜아바코는 차세대 국가 전략 산업인 평판디스플레이(FPD) 및 박막 태양전지의 핵심장비를 개발하는 생산설비 전문 기업으로 해당 분야에 특화된 기술력을 보유하고 있으며, 관련 국책사업에 적극적으로 참여 하고 있는 국내 중견기업이다.

○ 특히 평판디스플레이(FPD) 분야에서 국내 업체로는 8세대 이상 대응 가능한 대면적 스퍼터 장비를 유일하게 생산, 판매하고 있으며, 지속적인 연구개발을 통해 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업에도 적용하고 있다.

□ 핵융합(연) 김기만 소장은 “국내 중소·중견 기업과의 지속적인 협력을 통해 연구소에서 보유하고 있는 우수한 플라즈마 기술이 차세대 반도체 및 디스플레이 산업분야에 사업화되는 모범 사례”라며, “앞으로도 플라즈마 기술이 다양한 산업에 적용될 수 있도록 노력하겠다.”고 밝혔다.