연구성과
연구성과
2021년플라즈마기술연구소 플라즈마 데이터 개발 및 공유 플랫폼 개발
| 과제명 | 플라즈마 빅데이터 기반 ICT 융합기술 연구사업 | |
|---|---|---|
| 주기여자 | 기반기술연구부 | |
| 책임자 | 송미영 | |
| 연구개요 | 국가 주력산업의 고도화 및 삶의 질 향상을 위한 기술 자립화 지원에 필요한 플라즈마 데이터 생산기술 및 활용기술 개발 | |
| 연구내용 | (데이터 생산 기술 개발) 플라즈마 공정 개선 및 신기술 개발을 위한 플라즈마 데이터 개발 및 관리 기술 개발 (장비 해석 기술 개발) 플라즈마 공정 및 장비 최적 개발에 필요한 계산 과학 기반 모델링과 시뮬레이션 개발 (장비 진단/제어 기술 개발) 첨단 센서/빅데이터/컴퓨팅 기반의 고성능/고신뢰성 플라즈마 공정 모니터링 및 제어 요소 기술 개발 |
|
| 주요성과 | 세계 최초 총 산란 단면적 측정 장치를 활용한 C3F6O 가스 전자 충돌 총 산란 단면적 데이터 측정 국제 데이터 전문가와 함께 물 분자의 전자 충돌에 의한 산란 단면적 데이터 평가 체계적 관리를 위한 플라즈마 물성 데이터관리 시스템 개발 국제연구협력 체결 및 협력 연구실행으로 IAEA-AMBDAS ’20년도 문헌 데이터 업데이트 (180여건) 분광 참조 데이터 기반 플라즈마 분광 분석 기법 개발 |
|
| 기대효과 | 산업체 수요가 매우 높음에도 불구하고, 세계적으로 제공되지 않는 플라즈마 공정용 물성 데이터 연구를 통해 선제적으로 확보하여 산업체 활용 가능 | |
| 관련이미지 |  데이터베이스 저작권 등록 완료 (D-2021-000020) |
|
 분광 참조 데이터 기반 플라즈마 분광 분석 기법 개발 |
 플라즈마 물성 데이터 관리 시스템 최적화 |
|
담당부서
연구관리팀
보안문자를 입력 후 확인 버튼을 누르세요.